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一、公司简介
微导纳米是一家面向全球的半导体、泛半导体高端微纳装备制造商。公司形成了以原子层沉积(ALD)技术为核心,化学气相沉积(CVD)等多种真空薄膜技术梯次发展的产品体系,专注于先进微米级、纳米级薄膜设备的研发、生产与销售,向下游客户提供先进薄膜设备、配套产品及服务。
在半导体领域内,公司是国内首家成功将量产型High-k原子层沉积(ALD)设备应用于28nm节点集成电路制造前道生产线的国产设备厂商,已与国内多家厂商建立了深度合作关系,相关产品涵盖了逻辑、存储、化合物半导体、新型显示等诸多细分应用领域,多项设备关键指标达到国际先进水平。在光伏领域内,公司作为率先将ALD技术规模化应用于国内光伏电池生产的企业,已成为行业内提供高效电池技术与设备的领军者之一,与国内头部光伏厂商形成了长期合作伙伴关系。同时,公司跟随下游厂商的量产节奏,持续优化XBC、钙钛矿/异质结叠层电池等新一代高效电池技术。根据公开的市场数据统计,公司ALD产品已连续多年在营收规模、订单总量和市场占有率方面位居国内同类企业第一。
2023年前三季度,公司根据订单节奏安排产品交付并推进客户验收,前期在手订单陆续实现收入转化,专用设备产品验收数量增长导致公司营业收入较上年同期较快增长,从而使得公司业绩相比去年同期实现较大规模增长。2023年前三季度公司实现营业收入10.22亿元,同比增加165.30%;实现归属于母公司所有者的净利润1.55亿元,同比增加1.58亿元。
二、主要交流问题及回复
1、公司目前在手订单情况如何?后续订单展望?
截至2023年三季度末,微导纳米在手订单约70.82亿元,同比增长258.58%。其中,半导体在手订单同比增长412.15%,光伏在手订单同比增长244.32%,在手订单规模高增,有望助力公司未来业绩持续增长,后续订单情况请关注公司后续公开披露信息。
2、公司目前产品拓展进展如何?
公司围绕核心技术布局了半导体、光伏、柔性电子以及多个具有潜力的新兴领域,设立相应的事业部推动核心技术的产业化。通过多领域发展,降低了单一行业周期性波动带来的影响。同时,不同行业之间保持技术协同性,公司形成以ALD为核心,CVD等多种真空薄膜技术梯次发展的产品体系,构建了独有竞争优势。
当前公司产品拓展成效开始初步显现,光伏设备订单结构更加多元化,对TOPCon电池主要工艺环节覆盖,并储备了新一代的高效电池技术。半导体各细分领域内持续获得行业知名客户订单,涵盖逻辑、存储、第三代半导体和硅基显示等领域。
3、ALD技术在半导体存储领域内的前景如何?
ALD技术在DRAM、3D NAND和新型存储等方面均有十分良好的应用前景。DRAM领域内,随着存储器容量不断增大,其内部的电容器数量随之剧增,而单个电容器的尺寸将进一步减小,器件内部沟槽以及深孔的深宽比也越来越大,因此对具备高均匀性、高台阶覆盖率和对膜厚的精确控制的ALD技术需求越来越大。NAND领域,随着3D结构内部层数不断增高,元器件逐步呈现高密度、高深宽比结构,ALD可以实现高深宽比特征下的均匀镀膜,其应用随着层数的增加而不断的增大。
4、ALD与其他薄膜沉积技术之间存在什么关系吗?
薄膜制备依据的基础原理不同,因此薄膜沉积设备的工艺存在不同的技术路线。物理气相沉积(PVD)、化学气相沉积(CVD)、原子层沉积(ALD)三类薄膜沉积技术均为目前半导体领域的主流技术路线,但各技术适用的环节有所不同。在芯片的制造过程中,涉及十余种不同材料的薄膜、数十种工艺类型、上百道工艺环节,需要不同性能和材料的薄膜,因此PVD、CVD、ALD三类薄膜沉积技术依靠各自技术特点拓展适合的应用领域,材料制备上相互补充。
5、设备厂商在不同类型的薄膜沉积技术之间进行延展有难度吗?
对于设备厂商来说,不同技术路线工艺原理不同,工艺设备对可沉积的薄膜材料及性能、对关键零部件的选择有所不同,因此不同技术路线涉及的专业知识领域存在差别。
同时,细分市场之间也是存在技术壁垒、市场壁垒和客户认证壁垒。不同类型的薄膜沉积技术在供源技术、反应过程控制技术、在快速控制和切换技术等多个方面有质的区别,技术难度侧重点也不相同。
6、公司光伏领域设备平均毛利率略高主要是什么原因?
主要是由于目前公司光伏设备中市场竞争力水平较强的ALD设备占比较高。公司ALD设备的镀膜具有薄膜厚度小、均匀性高、TMA消耗量少等优点,在TOPCon电池具有金字塔绒面的正面Al2O3钝化层制备中,公司的ALD设备正成为主流技术路线。通过持续的研发,公司保持着产品的领先优势,对于产品定价有相对较高的话语权,占据了较高的市场份额,因此毛利率相对较高。
7、公司对TOPCon等光伏技术路线的发展状况看法如何?
随着PERC电池片的量产平均转换效率已逐渐接近理论极限,TOPCon、HJT、XBC等新型电池技术路线正逐步成为电池技术的主要发展方向。新建量产产线开始主要聚焦于TOPCon、HJT两种技术路线。其中,TOPCon技术凭借其较高的转换效率、相对成熟的设备与工艺、较高的量产性价比,在N型路线中率先脱颖而出,2022年下半年开始规模化量产,并随着技术提升和量产规模扩大,相对其他技术路线,其经济性也在持续增强。根据中国光伏行业协会预测,至2030年TOPCon将占据约一半以上的电池市场。
8、公司未来新一代的电池技术的布局如何?
在光伏领域内,公司作为行业内提供高效电池技术与设备的领军者之一,与国内头部光伏厂商形成了长期合作伙伴关系。目前,TOPCon正逐步成为主流,同时行业内也在积极探索或布局HJT、XBC、钙钛矿等新兴太阳能电池技术。公司对不同的技术路线都做了布局和储备,并跟随下游厂商的量产节奏,持续优化XBC、钙钛矿/异质结叠层电池等新一代高效电池技术。